1、真空泵任务时发生的振动对工艺进程及情况有无影响。若工艺进程不答应，应选择无振动的泵或许接纳防振动办法。 　　2、调查被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒尘土，有无侵蚀性等。选择真空泵时，需求知  旋片真空泵
道气体成分，针对被抽气体选择响应的泵。假如气体中含有蒸气、颗粒、及侵蚀性气体，应该思索在泵的进气口管路上装置辅佐设备，如冷凝器、除尘器等。 　　3、真空泵在其任务压强下，应能排走真空设备工艺进程中发生的悉数气体量。 　　4、准确地组合真空泵。因为真空泵有选择性抽气，因此，有时选用一种泵不克不及知足抽气要求，需求几种泵组合起来，相互增补才干知足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不克不及抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有必然的抽速，两者组合起来，便会使真空安装获得较好的真空度。别的，有的真空泵不克不及在大气压下任务，需求预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需求前级泵，故都需求把泵组合起来运用。 　　5、真空设备对油污染的要求。若设备严厉要求无油时，应该选各类无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。假如要求不严厉，可以选择有油泵，加上一些防油污染办法，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能到达洁净真空要求。 　　6、准确地选择真空泵的任务点。每种泵都有必然的任务压强局限，如：2BV系列水环真空泵任务压强局限760mmHg~25mmHg（绝压），在如许宽压强局限内，泵的抽速随压强而转变（具体转变状况参照泵的功能曲线），其不变的任务压强局限为760~60mmHg。因此，泵的任务点应该选在这个局限之内较为适合，而不克不及让它在25~30mmHg下长时间任务。 　　7、真空泵排出来的油蒸气对情况的影响若何。假如情况不答应有污染，可以选无油真空泵，或许把油蒸气排到室外。 　　8、真空泵的任务压强应该知足真空设备的极限真空及任务压强要求。如：某真空枯燥工艺要求10mmHg的任务真空度，选用的真空泵的极限真空度至少要2mmHg，能到达1mmHg。凡间选择泵的极限真空度要高于真空设备任务真空度半个到一个数目级。 　　9、真空泵的价钱、运转及维修费用。